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Bienvenue dans la collection HAL du groupe SCIPRA : Sciences et Ingénierie des Plasmas Réactifs et des Arcs
La démarche scientifique de notre équipe consiste à étudier l’ensemble de la chaîne d’un procédé plasma hors-équilibre depuis la source d’énergie jusqu’à la propriété finale du matériau élaboré/modifié en passant par la physico-chimie en phase plasma et l’interaction plasma-surface. Une spécificité importante et assez unique de l’équipe est d’exploiter un panel de réacteurs plasma couvrant un large champ d’exploration, de la basse pression (BP) (mTorr) jusqu’à la pression atmosphérique (PA) et des basses fréquences (quelques kHz) jusqu’aux microondes. Pour plus d'informations sur nos recherches
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Aerosol
Kvaerner torch
Thin SiO2 layers
SAB
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Infrared spectroscopy
Pulsed Direct Liquid Injection
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Silica
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Plasma process
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Thin SiOsub2/sub layers
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